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隨著社會(huì)的快速發(fā)展,前沿制造業(yè)也帶來了新的挑戰(zhàn),在原有的基礎(chǔ)上,嚴(yán)格要求,達(dá)到精細(xì)化水平,是各行各業(yè)共同面臨的問題。本期帶大家了解一下在先進(jìn)制造業(yè)中常用于表面平整化生產(chǎn)的新材料——cmp拋光液。
cmp拋光液的成分和作用是什么?
cmp拋光液是一種化學(xué)機(jī)械拋光液,主要是二氧化硅拋光液,其主要成分是PH調(diào)節(jié)劑、氧化劑、分散劑和磨粒。根據(jù)所需拋光材料的性質(zhì)選擇不同的PH調(diào)節(jié)劑和相應(yīng)的配方。金屬材料常使用酸性PH調(diào)節(jié)劑,效果更好。堿性拋光液較多存在于非金屬材料的拋光中。在CMP拋光液中加入氧化劑,可通過化學(xué)反應(yīng)在被拋光物體表面形成氧化膜,適用于后續(xù)的機(jī)械擦拭。分散劑將磨粒均勻地分散在CMP拋光液中以提高其穩(wěn)定性。磨??梢赃M(jìn)行磨粒去除行為,作用于被加工工件的表面,達(dá)到去除表面材料的目的。其研磨能力取決于磨粒的硬度、形狀和粒徑,以及磨粒在拋光液中的質(zhì)量濃度。
cmp拋光液有哪些用途?
CMP拋光液在實(shí)際應(yīng)用中應(yīng)用廣泛,主要用于精密儀器的制造過程。例如,在LED芯片制造過程中,芯片基板材料藍(lán)寶石具有非常高的硬度,使用普通磨料通常會(huì)在表面產(chǎn)生或大或小的劃痕,效果不佳。cmp拋光液通過“軟磨加硬”原理對(duì)藍(lán)寶石表面進(jìn)行精密拋光,效果非常好。此外,CMP拋光液也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工作中,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)材料拋光程度的要求也越來越嚴(yán)格,傳統(tǒng)的拋光技術(shù)只能進(jìn)行平面拋光,而CMP拋光液可以對(duì)拋光細(xì)節(jié)進(jìn)行處理,不留死角。
以上就是關(guān)于cmp拋光液的介紹,希望對(duì)大家能夠有所幫助。