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CMP拋光液的運(yùn)用范圍

發(fā)布日期:2022-01-14 | 瀏覽次數(shù):2743

CMP拋光液的運(yùn)用范圍是怎樣的呢?本期小編來為大家詳細(xì)的介紹一下,希望可以幫助到大家,一起往下看。

CMP拋光液的適用范圍:

目前LED芯片主要使用的基板材料是藍(lán)寶石,在加工過程中需要進(jìn)行減薄和拋光處理。藍(lán)寶石極其堅(jiān)硬,很難用普通磨料加工。用金剛石漿料對藍(lán)寶石基板表面進(jìn)行減薄和粗磨后,表面難免會(huì)出現(xiàn)一些大大小小的劃痕。 CMP拋光液利用“軟磨硬磨”的原理,實(shí)現(xiàn)對藍(lán)寶石表面的精密拋光。隨著LED產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對多晶金剛石拋光液和硅溶膠拋光液的需求量也與日俱增。

CMP拋光液技術(shù)還廣泛應(yīng)用于基板材料硅片的集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(ULSI)拋光。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,對拋光技術(shù)提出了新的要求。雖然傳統(tǒng)的拋光技術(shù)(如基于沉積技術(shù)的選擇性沉積、濺射等)也可以提供“光滑”的表面,但它們都是局部平面化技術(shù),無法實(shí)現(xiàn)全局平面化,而化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)解決了這個(gè)問題。它是目前可以平面化整個(gè)硅片的工藝技術(shù)。

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